微电子工艺

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微电子工艺课程简介：

微电子工艺是一门介绍半导体集成电路制造技术的课程，重点阐述芯片制造基本单项工艺的原理、方法和应用。介绍金属互连、典型工艺集成、关键工艺设备，以及微电子工艺未来发展趋势。是电子信息类专业的核心课程。

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微电子工艺课程目录：

绪论

--1、 微电子工艺是讲什么的

--2、 微电子工艺的发展历程如何？

--3、 微电子工艺有什么特点？

--4、 半导体单晶硅有什么特性？

第一单元 硅衬底制备

--第1章 硅片制造

--第1章作业

--第2章 外延

--第2章作业

第二单元 氧化与扩散

--第3章 热氧化

--第3章作业

--第4章 扩散

--第4章作业

--第5章 离子注入

--第5章作业

--单元测验

第三单元 薄膜制备

--第6章 化学气相淀积

--第6章作业

--第7章 物理淀积

--第7章作业

第四单元 光刻

--第8章 光刻工艺

--第9章 刻蚀技术

第五单元 工艺集成与封装测试

--第10章 腐蚀技术

微电子工艺授课教师：

田丽-副教授-哈尔滨工业大学-航天学院

田丽，副教授，佐治亚大学博士后, 主讲本科生“微电子工艺”、“微纳米技术”，国际研究生“微纳米技术”等课程，曾获黑龙江省教学成果二等奖（教材）、哈尔滨工业大学教学成果奖二等奖、何鸿燊奖教金及航院青年教师基本功竞赛3等奖。主编出版教材2本。主要从事Microfluidics以及MEMS微纳米传感器与执行器领域的科研工作。作为项目负责人主持黑龙江省自然科学基金，哈尔滨工业大学科研创新基金，航天创新基金等科研项目，参加863、及省部级科研项目研发。在国内外刊物上发表科技论文30余篇；已获批6项中国发明专利。在本课程中负责后3周视频课件制作及作业建设。

王蔚-教授-哈尔滨工业大学-航天学院

王蔚，教授级高工，博士，主讲本科生“微电子工艺”、“固态电子论”， 研究生“纳米技术”等多门课程。参与完成国家集成电路基地建设（哈尔滨工业大学）项目，负责多项校级教学建设及教学改革项目。获黑龙江省教学成果二等奖1次，哈尔滨工业大学教学成果奖2次。主编出版教材3本。发表教学文章5篇。主要从事微纳器件及系统集成技术领域的科研工作。负责及参与完成国家自然科学基金2项，863、973项目3项，部级及校级项目多项。获黑龙江省技术发明二等奖2次。发表学术论文40余篇。获得中国发明专利5项。在本课程中负责总体规划，前7周视频课件制作，以及讨论题、作业题、考试题建设。